Bei Öldiffusionspumpen handelt es sich um Hochvakuumpumpen, die ohne jegliche drehende Teile auskommen. Dabei wird die Pumpwirkung aufgrund der Diffusion der zu pumpenden Gase in den Dampfstrahl erzeugt. Das Saugvermögen dieser Treibmittelpumpen ist auf die Fläche der Ansaugöffnung bezogen deutlich größer als bei anderen Hochvakuumpumpen. Je nach Größe der Öldiffusionspumpe steht ein Saugvermögen von 3000 l/s bis hin zu 50000 l/s zur Verfügung. Abhängig von Bauart und verwendetem Öl, erreichen sie einen Enddruck von 10-7 mbar.
Öldiffusionspumpen der Produktserie LEYBOJET verfügen über eine zusätzliche Ejektordüse, die ein stabiles Saugvermögen bis in den Feinvakuumbereich ermöglicht.
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