Mit Flanschsystemen (Kleinflansche, Klammerflansche und CF-Flansche) verbindet man einzelne Vakuumkomponenten. Je nach Anforderungen sollten die passenden Flanschsysteme verwendet werden, um ein bestmögliches Ergebnis mit höchster Qualität zu erzielen. So gibt es unter anderem kostengünstige Flanschsysteme, Flanschen zur einfachen Montage oder Demontage oder Flanschen mit verschiedenen Dichtheitsgraden zur Auswahl.
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